Fabrication and Characterization of CMOS-MEMS Thermoelectric Micro Generators
This work presents a thermoelectric micro generator fabricated by the commercial 0.35 μm complementary metal oxide semiconductor (CMOS) process and the post-CMOS process. The micro generator is composed of 24 thermocouples in series. Each thermocouple is constructed by p-type and n-type polysilicon...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
MDPI AG
2010-02-01
|
| தொடர்: | Sensors |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | http://www.mdpi.com/1424-8220/10/2/1315/ |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|
