Fabrication and Characterization of CMOS-MEMS Thermoelectric Micro Generators

This work presents a thermoelectric micro generator fabricated by the commercial 0.35 μm complementary metal oxide semiconductor (CMOS) process and the post-CMOS process. The micro generator is composed of 24 thermocouples in series. Each thermocouple is constructed by p-type and n-type polysilicon...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Hlavní autoři:	Mao-Chen Liu, Ching-Liang Dai, Po-Jen Shih, Pin-Hsu Kao
Médium:	Artigo
Jazyk:	Inglês
Vydáno:	MDPI AG 2010-02-01
Edice:	Sensors
Témata:	thermocouples micro generators CMOS-MEMS
On-line přístup:	http://www.mdpi.com/1424-8220/10/2/1315/
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!