Lithography Alignment Techniques Based on Moiré Fringe

In Moiré fringe lithography alignment technology, alignment is realized by monitoring the grating interference fringe image in real-time. The technique exhibits excellent sensitivity to displacement changes and is not easily affected by the gap changes between the mask and silicon wafer. Therefore,...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

المؤلفون الرئيسيون:	Wenbo Jiang, Huaran Wang, Wenda Xie, Zhefei Qu
التنسيق:	Artigo
اللغة:	Inglês
منشور في:	MDPI AG 2023-03-01
سلاسل:	Photonics
الموضوعات:	lithography alignment technology moiré fringe alignment accuracy and range Influencing factors and optimization scheme
الوصول للمادة أونلاين:	https://www.mdpi.com/2304-6732/10/4/351
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!