Synthesis of Vertical Carbon Nanotube Interconnect Structures Using CMOS-Compatible Catalysts
Synthesis of the vertically aligned carbon nanotubes (CNTs) using complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS)-compatible methods is essential to integrate the CNT contact and interconnect to nanoscale devices and ultra-dense integrated nanoelectronics. However, the synthesis of high-density CNT a...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI AG
2020-09-01
|
| Loạt: | Nanomaterials |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://www.mdpi.com/2079-4991/10/10/1918 |
| Các nhãn: |
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|