In‐Plane AlN‐based Actuator: Toward a New Generation of Piezoelectric MEMS
Abstract A novel design that utilizes aluminum nitride (AlN) piezoelectric thin films deposited on vertical surfaces for lateral motion and sensing is a step toward emerging multi‐axial microelectromechanical systems (MEMS). This work demonstrates the fabrication process and potential applications o...
Zapisane w:
| Główni autorzy: | , , , , |
|---|---|
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
Wiley-VCH
2023-08-01
|
| Seria: | Advanced Electronic Materials |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://doi.org/10.1002/aelm.202300015 |
| Etykiety: |
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|