Design of a High Sensitivity Pirani Gauge Based on Vanadium Oxide Film for High Vacuum Measurement
We have designed a hot-plate-type micro-Pirani vacuum gauge with a simple structure and compatibility with conventional semiconductor fabrication processes. In the Pirani gauge, we used a vanadium oxide (VOx) membrane as the thermosensitive component, taking advantage of the high temperature coeffic...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , , , , , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
MDPI AG
2022-11-01
|
| தொடர்: | Sensors |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://www.mdpi.com/1424-8220/22/23/9275 |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|