Wafer-Scale ALD Synthesis of MoO₃ Sulfurized to MoS₂

Silicon has dimensional limitations in following Moore’s law; thus, new 2D materials complementing Silicon are being researched. Molybdenum disulfide (MoS₂) is a prospective material anticipated to bridge the gap to complement Silicon and enhance the performances of semiconductor devices...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

المؤلفون الرئيسيون:	Sachin Shendokar, Moha Feroz Hossen, Shyam Aravamudhan
التنسيق:	Artigo
اللغة:	Inglês
منشور في:	MDPI AG 2024-07-01
سلاسل:	Crystals
الموضوعات:	silicon limitations 2D materials Molybdenum disulfide (MoS<sub>2</sub>) Molybdenum trioxide (MoO<sub>3</sub>) atomic layer deposition (ALD) chemical vapor deposition (CVD)
الوصول للمادة أونلاين:	https://www.mdpi.com/2073-4352/14/8/673
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!