Dynamic Modeling, Simulation, and Experimental Verification of a Wafer Handling SCARA Robot With Decoupling Servo Control

In this paper, we propose a novel coordinated control method based on decoupling servo control to design a 4-DOF direct-drive SCARA robot for wafer handling purpose. As the basis of decoupling servo control, the dynamic model of the SCARA robot is obtained with two methods, the Newton-Euler equation...

Ամբողջական նկարագրություն

Մատենագիտական մանրամասներ

Հիմնական հեղինակներ:	Yunbo He, Xiquan Mai, Chengqiang Cui, Jian Gao, Zhijun Yang, Kai Zhang, Xun Chen, Yun Chen, Hui Tang
Ձևաչափ:	Artigo
Լեզու:	Inglês
Հրապարակվել է:	IEEE 2019-01-01
Շարք:	IEEE Access
Խորագրեր:	Decoupling control direct-drive wafer handling SCARA robot
Առցանց հասանելիություն:	https://ieeexplore.ieee.org/document/8682121/
Ցուցիչներ:	Ավելացրեք ցուցիչ Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!