Labeling Confidence Values for Wafer-Handling Robot Arm Performance Using a Feature-Based General Regression Neural Network and Genetic Algorithm

The prognosis and management of machine health statuses are emerging research topics. In this study, the performance degradation of a wafer-handling robot arm (WHRA) was predicted using the proposed machine-learning approach. This method considers the eccentric vertical and planar position deviation...

Ամբողջական նկարագրություն

Մատենագիտական մանրամասներ

Հիմնական հեղինակներ:	Yi-Cheng Huang, Zi-Sheng Yang, Hsien-Shu Liao
Ձևաչափ:	Artigo
Լեզու:	Inglês
Հրապարակվել է:	MDPI AG 2019-10-01
Շարք:	Applied Sciences
Խորագրեր:	prognostic and health management wafer-handling robot arm feature extraction general regression neural network logistic regression
Առցանց հասանելիություն:	https://www.mdpi.com/2076-3417/9/20/4241
Ցուցիչներ:	Ավելացրեք ցուցիչ Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!