Aluminum Nitride Out-of-Plane Piezoelectric MEMS Actuators
Integrating microelectromechanical systems (MEMS) actuators with low-loss suspended silicon nitride waveguides enables the precise alignment of these waveguides to other photonic integrated circuits (PICs). This requires both in-plane and out-of-plane actuators to ensure high-precision optical align...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
MDPI AG
2023-03-01
|
| தொடர்: | Micromachines |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://www.mdpi.com/2072-666X/14/3/700 |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|