Using Mono-, Bi- and Tri-Metallic Nanoparticles to Improve Selectivity and Sensitivity of CMOS-Integrated SnO<sub>2</sub> Thin-Film Gas Sensors

We demonstrate the systematic optimization of SnO<sub>2</sub>-based thin-film chemical sensors by using mono-, bi- and tri metallic nanoparticles (NPs) composed of Ag, Pd, and Ru, which are deposited via magnetron sputtering inert gas condensation. The ultrathin SnO<sub>2</sub&g...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Florentyna Sosada-Ludwikowska, Larissa Egger, Jerome Vernieres, Vidyadhar Singh, Panagiotis Grammatikopoulos, Stephan Steinhauer, Anton Köck
التنسيق: Artigo
اللغة:Inglês
منشور في: MDPI AG 2024-06-01
سلاسل:Proceedings
الموضوعات:
chemical sensors
multi-gas sensor
CMOS integration
metal oxides
nanoparticles
الوصول للمادة أونلاين:https://www.mdpi.com/2504-3900/97/1/224
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة