Using Mono-, Bi- and Tri-Metallic Nanoparticles to Improve Selectivity and Sensitivity of CMOS-Integrated SnO<sub>2</sub> Thin-Film Gas Sensors
We demonstrate the systematic optimization of SnO<sub>2</sub>-based thin-film chemical sensors by using mono-, bi- and tri metallic nanoparticles (NPs) composed of Ag, Pd, and Ru, which are deposited via magnetron sputtering inert gas condensation. The ultrathin SnO<sub>2</sub> films are integrated...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI AG
2024-06-01
|
| Loạt: | Proceedings |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://www.mdpi.com/2504-3900/97/1/224 |
| Các nhãn: |
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|