Reliability Evaluation Based on Mathematical Degradation Model for Vacuum Packaged MEMS Sensor
Vacuum packaging is used extensively in MEMS sensors for improving performance. However, the vacuum in the MEMS chamber gradually degenerates over time, which adversely affects the long-term performance of the MEMS sensor. A mathematical model for vacuum degradation is presented in this article for...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রধান লেখক: | , , , , |
|---|---|
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
MDPI AG
2022-10-01
|
| মালা: | Micromachines |
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://www.mdpi.com/2072-666X/13/10/1713 |
| ট্যাগগুলো: |
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|