Fabricación de guías de onda ópticas en silicio utilizando óxido de silicio y nitruro de silicio
Se diseñaron y fabricaron guías de onda ópticas planares de índice abrupto utilizando películas de óxido de silicio (SiO2) y nitruro de silicio (Si3N4) obtenidas por técnica PECVD. Debido a las características ópticas, mecánicas y eléctricas, se eligió el silicio como material de sustrato. Pruebas d...
Salvato in:
| Pubblicato in: | Superficies y vacío |
|---|---|
| Autori principali: | , , , |
| Natura: | Artigo |
| Lingua: | Espanhol |
| Pubblicazione: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
2005
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94218405 |
| Tags: |
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!
|