Aluminium surface modification by nitrogen-argon mixture PIII

Pure nitrogen, 30% argon/70% nitrogen, 50% argon/50% nitrogen, 70% argon/30% nitrogen plasma immersion ion implantation (PIII) processes onto aluminium samples has been performed at 2 to 6 kV negative bias and 50 to 150 ¿s pulse widths, the sample temperature being established at 400 °C. Incident fl...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Superficies y vacío
Hauptverfasser: H. Millán-Flores, R. López-Callejas, E. E. Granda-Gutiérrez, A. de la Piedad-Benítez, A. E. Muñóz-Castro, R. Valencia A., R. Peña-Eguiluz, A. Mercado-Cabrera, S. R. Barocio
Format: Artigo
Sprache:Inglês
Veröffentlicht: Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2009
Schlagworte:
Física, Astronomía y Matemáticas
hardness
ray diffraction
Online Zugang:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94216772003
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