Post-deposit annealing of ITO films produced by r.f. magnetron sputtering
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| Publié dans: | Superficies y vacío |
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| Auteurs principaux: | , , , |
| Format: | Artigo |
| Langue: | Inglês |
| Publié: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
1997
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| Accès en ligne: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94211318010 |
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