Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema UBM

El propósito de este trabajo es el de estudiar la influencia del bombardeo de iones sobre la orientación preferencial (OP) en nitruros metálicos de transición (NMT) producidos utilizando la técnica de sputtering reactivo con magnetrón desbalanceado variable mediante imanes permanentes (UBM). Para el...

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Podrobná bibliografie

Vydáno v:	Ingeniería e Investigación
Hlavní autoři:	Jhon Jairo Olaya, Diana Maritza Marulanda, Sandra Rodil
Médium:	Artigo
Jazyk:	Espanhol
Vydáno:	Universidad Nacional de Colombia 2010
Témata:	Ingeniería
On-line přístup:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=64312498022
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!