Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema UBM
El propósito de este trabajo es el de estudiar la influencia del bombardeo de iones sobre la orientación preferencial (OP) en nitruros metálicos de transición (NMT) producidos utilizando la técnica de sputtering reactivo con magnetrón desbalanceado variable mediante imanes permanentes (UBM). Para el...
Na minha lista:
| 发表在: | Ingeniería e Investigación |
|---|---|
| Principais autores: | , , |
| 格式: | Artigo |
| 语言: | Espanhol |
| 出版: |
Universidad Nacional de Colombia
2010
|
| 主题: | |
| 在线阅读: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=64312498022 |
| 标签: |
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|