Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema UBM
El propósito de este trabajo es el de estudiar la influencia del bombardeo de iones sobre la orientación preferencial (OP) en nitruros metálicos de transición (NMT) producidos utilizando la técnica de sputtering reactivo con magnetrón desbalanceado variable mediante imanes permanentes (UBM). Para el...
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| Publicado en: | Ingeniería e Investigación |
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| Autores principales: | , , |
| Formato: | Artigo |
| Lenguaje: | Espanhol |
| Publicado: |
Universidad Nacional de Colombia
2010
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=64312498022 |
| Etiquetas: |
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