Propiedades mecánicas de nitruros metálicos depositados con UBM: tecnología eficiente y ambientalmente limpia

El objetivo de esta investigación es estudiar la influencia de la configuración del campo magnético en un sistema de sputtering en las propiedades mecánicas de recubrimientos de CrN, TaN, TiN, NbN y ZrN. Se cuantificaron diferentes configuraciones del campo magnético a través del coeficiente de desb...

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Bibliografische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Revista Mexicana de Física
Hauptverfasser:	J.J. Olaya, D.M. Marulanda, S.E. Rodil, B. Bhushan
Format:	Artigo
Sprache:	Espanhol
Veröffentlicht:	Sociedad Mexicana de Física A.C. 2009
Schlagworte:	Física, Astronomía y Matemáticas
Online-Zugang:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57013233004
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