Propiedades mecánicas de nitruros metálicos depositados con UBM: tecnología eficiente y ambientalmente limpia
El objetivo de esta investigación es estudiar la influencia de la configuración del campo magnético en un sistema de sputtering en las propiedades mecánicas de recubrimientos de CrN, TaN, TiN, NbN y ZrN. Se cuantificaron diferentes configuraciones del campo magnético a través del coeficiente de desb...
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| Publicado no: | Revista Mexicana de Física |
|---|---|
| Principais autores: | , , , |
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Espanhol |
| Publicado em: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2009
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57013233004 |
| Tags: |
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