RECUBRIMIENTOS DE NITRUROS METÁLICOS DEPOSITADOS CON UBM: TECNOLOGÍA EFICIENTE Y AMBIENTALMENTE LIMPIA
El objetivo de esta investigación es estudiar la influencia de la configuración del campo magnético sobre los parámetros del plasma y algunas propiedades de recubrimientos de TaN, TiN, NbN, ZrN y CrN producidos con un sistema de sputtering con magnetrón desbalanceado (UBM). Este sistema permite modi...
Sábháilte in:
| Foilsithe in: | Dyna |
|---|---|
| Príomhchruthaitheoirí: | , , |
| Formáid: | Artigo |
| Teanga: | Espanhol |
| Foilsithe / Cruthaithe: |
Universidad Nacional de Colombia
2010
|
| Ábhair: | |
| Rochtain ar líne: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=49620414007 |
| Clibeanna: |
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|