RECUBRIMIENTOS DE NITRUROS METÁLICOS DEPOSITADOS CON UBM: TECNOLOGÍA EFICIENTE Y AMBIENTALMENTE LIMPIA
El objetivo de esta investigación es estudiar la influencia de la configuración del campo magnético sobre los parámetros del plasma y algunas propiedades de recubrimientos de TaN, TiN, NbN, ZrN y CrN producidos con un sistema de sputtering con magnetrón desbalanceado (UBM). Este sistema permite modi...
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| Publicat a: | Dyna |
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| Autors principals: | , , |
| Format: | Artigo |
| Idioma: | Espanhol |
| Publicat: |
Universidad Nacional de Colombia
2010
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| Matèries: | |
| Accés en línia: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=49620414007 |
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