تحميل...

Properties of CrSi(2) Layers Obtained by Rapid Heat Treatment of Cr Film on Silicon

The changes in the morphology and the electrophysical properties of the Cr/n-Si (111) structure depending on the rapid thermal treatment were considered in this study. The chromium films of about 30 nm thickness were deposited via magnetron sputtering. The rapid thermal treatment was performed by th...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
الحاوية / القاعدة:Nanomaterials (Basel)
المؤلفون الرئيسيون: Kuznetsova, Tatyana, Lapitskaya, Vasilina, Solovjov, Jaroslav, Chizhik, Sergei, Pilipenko, Vladimir, Aizikovich, Sergei
التنسيق: Artigo
اللغة:Inglês
منشور في: MDPI 2021
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC8308153/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/34209379
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/nano11071734
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!