The Recent Progress of MEMS/NEMS Resonators

MEMS/NEMS resonators are widely studied in biological detection, physical sensing, and quantum coupling. This paper reviews the latest research progress of MEMS/NEMS resonators with different structures. The resonance performance, new test method, and manufacturing process of single or double-clampe...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Xuất bản năm:Micromachines (Basel)
Những tác giả chính: Wei, Lei, Kuai, Xuebao, Bao, Yidi, Wei, Jiangtao, Yang, Liangliang, Song, Peishuai, Zhang, Mingliang, Yang, Fuhua, Wang, Xiaodong
Định dạng: Artigo
Ngôn ngữ:Inglês
Được phát hành: MDPI 2021
Những chủ đề:
Review
Truy cập trực tuyến:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC8235191/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/34205469
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi12060724
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!

Những quyển sách tương tự