Đang tải...

Imaging and milling resolution of light ion beams from helium ion microscopy and FIBs driven by liquid metal alloy ion sources

While the application of focused ion beam (FIB) techniques has become a well-established technique in research and development for patterning and prototyping on the nanometer scale, there is still a large underused potential with respect to the usage of ion species other than gallium. Light ions in...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Xuất bản năm:Beilstein J Nanotechnol
Những tác giả chính: Klingner, Nico, Hlawacek, Gregor, Mazarov, Paul, Pilz, Wolfgang, Meyer, Fabian, Bischoff, Lothar
Định dạng: Artigo
Ngôn ngữ:Inglês
Được phát hành: Beilstein-Institut 2020
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7684691/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/33282621
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3762/bjnano.11.156
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!