Načítá se...
Accelerated Bottom-Up Gold Filling of Metallized Trenches
This work extends previously detailed void-free, bottom-up feature filling in a near-neutral Na(3)Au(SO(3))(2) + Na(2)SO(3) electrolyte containing micromolar concentrations of Bi(3+). Bottom-up electrodeposition in 17 μm and 45 μm tall trenches with an aspect ratio greater than 10 is demonstrated us...
Uloženo v:
| Vydáno v: | J Electrochem Soc |
|---|---|
| Hlavní autoři: | , , , , |
| Médium: | Artigo |
| Jazyk: | Inglês |
| Vydáno: |
2019
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7543056/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/33041356 |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|