Загрузка...

A High-Temperature, Low-Noise Readout ASIC for MEMS-Based Accelerometers

This paper presents the development and measurement results of a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) readout application-specific integrated circuit (ASIC) for bulk-silicon microelectromechanical system (MEMS) accelerometers. The proposed ASIC converts the capacitance difference of the ME...

Полное описание

Сохранить в:
Библиографические подробности
Опубликовано в: :Sensors (Basel)
Главные авторы: Qi, Min, Guo, An-qiang, Qiao, Dong-hai
Формат: Artigo
Язык:Inglês
Опубликовано: MDPI 2019
Предметы:
Online-ссылка:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6982914/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31906194
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s20010241
Метки: Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!