Načítá se...
A Resonant Z-Axis Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Accelerometer
In this paper, we report a novel aluminum nitride (AlN) thin-film piezoelectric resonant accelerometer. Different from the ordinary MEMS (micro-electro-mechanical systems) resonant accelerometers, the entire structure of the accelerometer, including the mass and the springs, is excited to resonate i...
Uloženo v:
| Vydáno v: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| Hlavní autoři: | , , , , , , , , |
| Médium: | Artigo |
| Jazyk: | Inglês |
| Vydáno: |
MDPI
2019
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6780656/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31489954 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi10090589 |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|