লোডিং...
A Resonant Z-Axis Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Accelerometer
In this paper, we report a novel aluminum nitride (AlN) thin-film piezoelectric resonant accelerometer. Different from the ordinary MEMS (micro-electro-mechanical systems) resonant accelerometers, the entire structure of the accelerometer, including the mass and the springs, is excited to resonate i...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রকাশিত: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| প্রধান লেখক: | , , , , , , , , |
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
MDPI
2019
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6780656/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31489954 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi10090589 |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|