טוען...

The Hybrid Fabrication Process of Metal/Silicon Composite Structure for MEMS S&A Device

The micro-electromechanical system (MEMS) safety-and-arming (S&A) device has the features of integration and miniaturization, which is one of the important directions of weapon development. Confined by the fabrication process, the silicon-based devices are too fragile, and the metal-based device...

תיאור מלא

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
הוצא לאור ב:Micromachines (Basel)
Main Authors: Hu, Tengjiang, Fang, Kuang, Zhang, Zhiming, Jiang, Xiaohua, Zhao, Yulong
פורמט: Artigo
שפה:Inglês
יצא לאור: MDPI 2019
נושאים:
גישה מקוונת:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6681024/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31337075
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi10070469
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!