Ładuje się......
A MEMS Micro-g Capacitive Accelerometer Based on Through-Silicon-Wafer-Etching Process
This paper presents a micromachined micro-g capacitive accelerometer with a silicon-based spring-mass sensing element. The displacement changes of the proof mass are sensed by an area-variation-based capacitive displacement transducer that is formed by the matching electrodes on both the movable pro...
Zapisane w:
| Wydane w: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| Główni autorzy: | , , , , , , |
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
MDPI
2019
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6630974/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31181589 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi10060380 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|