লোডিং...
Electron-beam lithography for polymer bioMEMS with submicron features
We present a method for submicron fabrication of flexible, thin-film structures fully encapsulated in biocompatible polymer poly(chloro-p-xylylene) (Parylene C) that improves feature size and resolution by an order of magnitude compared with prior work. We achieved critical dimensions as small as 25...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রকাশিত: | Microsyst Nanoeng |
|---|---|
| প্রধান লেখক: | , |
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
Nature Publishing Group
2016
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6444738/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31057839 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1038/micronano.2016.53 |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|