Electrical Properties of Ultrathin Platinum Films by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

[Image: see text] The ability to deposit thin and conformal films has become of great importance because of downscaling of devices. However, because of nucleation difficulty, depositing an electrically stable and thin conformal platinum film on an oxide nucleation layer has proven challenging. By us...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
الحاوية / القاعدة:ACS Appl Mater Interfaces
المؤلفون الرئيسيون: Kim, Hyo Jin K., Kaplan, Kirsten E., Schindler, Peter, Xu, Shicheng, Winterkorn, Martin M., Heinz, David B., English, Timothy S., Provine, J., Prinz, Fritz B., Kenny, Thomas W.
التنسيق: Artigo
اللغة:Inglês
منشور في: American Chemical Society 2019
الوصول للمادة أونلاين:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6407042/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30707831
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1021/acsami.8b21054
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة