Ładuje się......
Piezoresistive temperature sensors fabricated by a surface micromachining CMOS MEMS process
This paper presents a micromachined monocrystalline silicon piezoresistive temperature sensor fabricated by a surface micromachining CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) process. The design of the temperature sensor is based on the structure of the mu...
Zapisane w:
| Wydane w: | Sci Rep |
|---|---|
| Główni autorzy: | , , , , |
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
Nature Publishing Group UK
2018
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6244008/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30459315 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1038/s41598-018-35113-z |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|