Načítá se...
Fabrication and Characterization of a CMOS-MEMS Humidity Sensor
This paper reports on the fabrication and characterization of a Complementary Metal Oxide Semiconductor-Microelectromechanical System (CMOS-MEMS) device with embedded microheater operated at relatively elevated temperatures (40 °C to 80 °C) for the purpose of relative humidity measurement. The sensi...
Uloženo v:
| Vydáno v: | Sensors (Basel) |
|---|---|
| Hlavní autoři: | , , |
| Médium: | Artigo |
| Jazyk: | Inglês |
| Vydáno: |
MDPI
2015
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4541900/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26184204 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s150716674 |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|