Đang tải...

Three-Dimensional Electrochemical Axial Lithography on Si Micro- and Nanowire Arrays

[Image: see text] A templated electrochemical technique for patterning macroscopic arrays of single-crystalline Si micro- and nanowires with feature dimensions down to 5 nm is reported. This technique, termed three-dimensional electrochemical axial lithography (3DEAL), allows the design and parallel...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Xuất bản năm:Nano Lett
Những tác giả chính: Wendisch, Fedja J., Saller, Michael S., Eadie, Alex, Reyer, Andreas, Musso, Maurizio, Rey, Marcel, Vogel, Nicolas, Diwald, Oliver, Bourret, Gilles R.
Định dạng: Artigo
Ngôn ngữ:Inglês
Được phát hành: American Chemical Society 2018
Truy cập trực tuyến:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6238956/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30359028
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1021/acs.nanolett.8b03608
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!