Đang tải...
An Investigation of Processes for Glass Micromachining
This paper presents processes for glass micromachining, including sandblast, wet etching, reactive ion etching (RIE), and glass reflow techniques. The advantages as well as disadvantages of each method are presented and discussed in light of the experiments. Sandblast and wet etching techniques are...
Đã lưu trong:
| Xuất bản năm: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| Những tác giả chính: | , , |
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI
2016
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6190300/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30407424 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi7030051 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|