Đang tải...

An Investigation of Processes for Glass Micromachining

This paper presents processes for glass micromachining, including sandblast, wet etching, reactive ion etching (RIE), and glass reflow techniques. The advantages as well as disadvantages of each method are presented and discussed in light of the experiments. Sandblast and wet etching techniques are...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Xuất bản năm:Micromachines (Basel)
Những tác giả chính: Van Toan, Nguyen, Toda, Masaya, Ono, Takahito
Định dạng: Artigo
Ngôn ngữ:Inglês
Được phát hành: MDPI 2016
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6190300/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30407424
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi7030051
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!