טוען...

Resist Filling Study for UV Nanoimprint Lithography Using Stamps with Various Micro/Nano Ratios

Mixed micro- and nanoscale structures are gaining popularity in various fields due to their rapid advances in patterning. An investigation in stamp resist filling with multiscale cavities via ultraviolet (UV) nanoimprint lithography (UV-NIL) is necessary to improve stamp design. Here, simulations at...

תיאור מלא

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
הוצא לאור ב:Micromachines (Basel)
Main Authors: Yin, Minqi, Sun, Hongwen, Wang, Haibin
פורמט: Artigo
שפה:Inglês
יצא לאור: MDPI 2018
נושאים:
גישה מקוונת:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6082289/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30424268
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi9070335
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!