Bi-layer Channel AZO/ZnO Thin Film Transistors Fabricated by Atomic Layer Deposition Technique

This letter demonstrates bi-layer channel Al-doped ZnO/ZnO thin film transistors (AZO/ZnO TFTs) via atomic layer deposition process at a relatively low temperature. The effects of annealing in oxygen atmosphere at different temperatures have also been investigated. The ALD bi-layer channel AZO/ZnO T...

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Detalhes bibliográficos
Publicado no:Nanoscale Res Lett
Main Authors: Li, Huijin, Han, Dedong, Liu, Liqiao, Dong, Junchen, Cui, Guodong, Zhang, Shengdong, Zhang, Xing, Wang, Yi
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: Springer US 2017
Assuntos:
Nano Express
Acesso em linha:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC5366990/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/28347129
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/s11671-017-1999-7
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