تحميل...
Advancing X-ray scattering metrology using inverse genetic algorithms
We compare the speed and effectiveness of two genetic optimization algorithms to the results of statistical sampling via a Markov chain Monte Carlo algorithm to find which is the most robust method for determining real space structure in periodic gratings measured using critical dimension small angl...
محفوظ في:
| الحاوية / القاعدة: | J Micro Nanolithogr MEMS MOEMS |
|---|---|
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , |
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
2016
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4990789/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/27551326 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1117/1.JMM.15.3.034001 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|