Ładuje się......
Low-Actuation Voltage MEMS Digital-to-Analog Converter with Parylene Spring Structures
We propose an electrostatically-actuated microelectromechanical digital-to-analog converter (M-DAC) device with low actuation voltage. The spring structures of the silicon-based M-DAC device were monolithically fabricated using parylene-C. Because the Young’s modulus of parylene-C is considerably lo...
Zapisane w:
| Wydane w: | Sensors (Basel) |
|---|---|
| Główni autorzy: | , , , , |
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
MDPI
2015
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4610465/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26343682 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s150921567 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|