Atomically Traceable Nanostructure Fabrication

Reducing the scale of etched nanostructures below the 10 nm range eventually will require an atomic scale understanding of the entire fabrication process being used in order to maintain exquisite control over both feature size and feature density. Here, we demonstrate a method for tracking atomicall...

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Detalhes bibliográficos
Publicado no:J Vis Exp
Main Authors: Ballard, Josh B., Dick, Don D., McDonnell, Stephen J., Bischof, Maia, Fu, Joseph, Owen, James H. G., Owen, William R., Alexander, Justin D., Jaeger, David L., Namboodiri, Pradeep, Fuchs, Ehud, Chabal, Yves J., Wallace, Robert M., Reidy, Richard, Silver, Richard M., Randall, John N., Von Ehr, James
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: MyJove Corporation 2015
Assuntos:
Engineering
Acesso em linha:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4545154/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26274555
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3791/52900
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