Đang tải...
Electrothermally-Actuated Micromirrors with Bimorph Actuators—Bending-Type and Torsion-Type
Three different electrothermally-actuated MEMS micromirrors with Cr/Au-Si bimorph actuators are proposed. The devices are fabricated with the SOIMUMPs process developed by MEMSCAP, Inc. (Durham, NC, USA). A silicon-on-insulator MEMS process has been employed for the fabrication of these micromirrors...
Đã lưu trong:
| Xuất bản năm: | Sensors (Basel) |
|---|---|
| Những tác giả chính: | , , , , |
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI
2015
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4507607/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26110409 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s150614745 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|