تحميل...
Circular test structure for the determination of piezoelectric constants of Sc(x)Al(1−x)N thin films applying Laser Doppler Vibrometry and FEM simulations()
Piezoelectric scandium aluminium nitride (Sc(x)Al(1−x)N) thin films offer a large potential for the application in micro electromechanical systems, as advantageous properties of pure AlN thin films are maintained, but combined with an increased piezoelectric actuation and sensing potential. Sc(x)Al(...
محفوظ في:
| الحاوية / القاعدة: | Sens Actuators A Phys |
|---|---|
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , |
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
Elsevier Sequoia
2015
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4461150/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26109748 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2014.10.024 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|