লোডিং...

Film bulk acoustic resonators integrated on arbitrary substrates using a polymer support layer

The film bulk acoustic resonator (FBAR) is a widely-used MEMS device which can be used as a filter, or as a gravimetric sensor for biochemical or physical sensing. Current device architectures require the use of an acoustic mirror or a freestanding membrane and are fabricated as discrete components....

সম্পূর্ণ বিবরণ

সংরক্ষণ করুন:
গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রকাশিত:Sci Rep
প্রধান লেখক: Chen, Guohao, Zhao, Xinru, Wang, Xiaozhi, Jin, Hao, Li, Shijian, Dong, Shurong, Flewitt, A. J., Milne, W. I., Luo, J. K.
বিন্যাস: Artigo
ভাষা:Inglês
প্রকাশিত: Nature Publishing Group 2015
বিষয়গুলি:
অনলাইন ব্যবহার করুন:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4379503/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/25824706
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1038/srep09510
ট্যাগগুলো: ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!