Đang tải...
Effects of starting powder and thermal treatment on the aerosol deposited BaTiO(3) thin films toward less leakage currents
To prepare high-density integrated capacitors with low leakage currents, 0.2-μm-thick BaTiO(3) thin films were successfully deposited on integrated semiconductor substrates at room temperature by the aerosol deposition (AD) method. In this study, the effects of starting powder size were considered i...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
Springer
2014
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4158356/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/25246860 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/1556-276X-9-435 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|