Đang tải...

Micro Ethanol Sensors with a Heater Fabricated Using the Commercial 0.18 μm CMOS Process

The study investigates the fabrication and characterization of an ethanol microsensor equipped with a heater. The ethanol sensor is manufactured using the commercial 0.18 μm complementary metal oxide semiconductor (CMOS) process. The sensor consists of a sensitive film, a heater and interdigitated e...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Những tác giả chính: Liao, Wei-Zhen, Dai, Ching-Liang, Yang, Ming-Zhi
Định dạng: Artigo
Ngôn ngữ:Inglês
Được phát hành: Molecular Diversity Preservation International (MDPI) 2013
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3859035/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/24072022
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s131012760
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!