Đang tải...
Micro Ethanol Sensors with a Heater Fabricated Using the Commercial 0.18 μm CMOS Process
The study investigates the fabrication and characterization of an ethanol microsensor equipped with a heater. The ethanol sensor is manufactured using the commercial 0.18 μm complementary metal oxide semiconductor (CMOS) process. The sensor consists of a sensitive film, a heater and interdigitated e...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
Molecular Diversity Preservation International (MDPI)
2013
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3859035/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/24072022 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s131012760 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|