Đang tải...
Relation between electrical properties of aerosol-deposited BaTiO(3) thin films and their mechanical hardness measured by nano-indentation
To achieve a high capacitance density for embedded decoupling capacitor applications, the aerosol deposition (AD) process was applied as a thin film deposition process. BaTiO(3) films were fabricated on Cu substrates by the AD process at room temperature, and the film thickness was reduced to confir...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
Springer
2012
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3422166/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/22616759 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/1556-276X-7-264 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|