Stability, Nonlinearity and Reliability of Electrostatically Actuated MEMS Devices

Electrostatic micro-electro-mechanical system (MEMS) is a special branch with a wide range of applications in sensing and actuating devices in MEMS. This paper provides a survey and analysis of the electrostatic force of importance in MEMS, its physical model, scaling effect, stability, nonlinearity...

Szczegółowa specyfikacja

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
Główni autorzy: Di Chen, Guang Meng, Wen-Ming Zhang
Format: Artigo
Język:Inglês
Wydane: MDPI AG 2007-05-01
Seria:Sensors
Hasła przedmiotowe:
MEMS
Electrostatic force
Scaling effect
Stability
Nonlinearity
Reliability.
Dostęp online:http://www.mdpi.com/1424-8220/7/5/760/
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!

Podobne zapisy