A Ceramic Diffusion Bonding Method for Passive LC High-Temperature Pressure Sensor

Alumina ceramic is a highly promising material for fabricating high-temperature pressure sensors. In this paper, a direct bonding method for fabricating a sensitive cavity with alumina ceramic is presented. Alumina ceramic substrates were bonded together to form a sensitive cavity for high-temperatu...

Szczegółowa specyfikacja

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
Główni autorzy: Chen Li, Boshan Sun, Yanan Xue, Jijun Xiong
Format: Artigo
Język:Inglês
Wydane: MDPI AG 2018-08-01
Seria:Sensors
Hasła przedmiotowe:
alumina ceramic
diffusion bonding
sensitive cavity
pressure sensor
high-temperature application
Dostęp online:http://www.mdpi.com/1424-8220/18/8/2676
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!

Podobne zapisy